ITO導電膜玻璃製作流程
ITO導電膜（mó）玻璃的生產工藝流程可分為觸摸屏以及LCD兩類，其中LCD用ITO導電膜（mó）玻璃（lí）對AR玻（bō）璃除了增加TiO2、Nb2O5等多級鍍膜流程外（wài），還要改（gǎi）變工藝過程相關參數的控製標準。同時，由於產品規格不同，尤其（qí）是核心技術指標透（tòu）過率、膜層電導率要求的不（bú）同，對導（dǎo）電玻璃膜層結構、鍍膜流程以及鍍膜技術要求也不盡相同。核（hé）心流（liú）程為（wéi）：（1）切割、磨邊：將采購的大片（piàn）超薄玻璃（LCD顯示行業大都使用（yòng）的是厚（hòu）度1.1mm以下的（de）超薄玻璃）按客戶需（xū）要切割成相應的尺寸，再將玻（bō）璃磨邊倒角，以（yǐ）便後續工序中的（de）操作安（ān）全和準確定位。
（2）原玻璃檢驗：將切（qiē）割、磨邊後的玻璃進行表觀質量（劃傷、點缺陷、磨邊質量、幾何尺寸等）檢驗，將不符合（hé）要求的玻璃挑出（chū）。（3）清洗：電子玻璃（lí）對表觀（guān）的要求非常（cháng）高，需（xū）要在淨（jìng）化環境（jìng）中（zhōng）進行，因此在進行真空鍍膜前，需將切割（gē）磨邊好的玻璃進行清洗。玻璃基板的清洗工藝流程為：清洗液滾刷清洗→清（qīng）洗液盤刷清洗→純（chún）淨水滾刷清洗（xǐ）→純淨水盤刷清（qīng）洗→純淨水噴淋→熱（rè）風吹（chuī）幹→送入超（chāo）淨間。經表（biǎo）觀檢驗合格後，作為鍍膜使用。（4）真空鍍膜：將清洗後檢驗合格的玻璃裝上（shàng）鍍膜車架，送（sòng）入真空鍍膜機進行鍍膜。真空鍍膜（mó）的工藝流程（chéng）為：玻璃裝片→根據產品要求調整設備工作參數（靶（bǎ）電壓、電（diàn）流、溫度、工（gōng）作節（jiē）拍）→鍍SiO2薄膜→鍍ITO薄膜→卸片。（5）成品檢驗（yàn）：根據產品質（zhì）量標準（zhǔn），逐（zhú）片檢查成品表觀質量，電氣性能參數，並采用抽樣檢驗的方法（fǎ），將（jiāng）檢驗好的玻璃按客戶要（yào）求包裝，並做好標示，便於質量（liàng）追蹤檢查。
