隨著(zhe)現代微電子技術的創(chuàng)新,電(diàn)子設備向著微型化、集(jí)成(chéng)化、高效率和高可靠性等方向發展,電子係統的集成度越來越高,功率密度越來越大,對封裝材料的要求也越來越高(gāo)。高溫(wēn)電爐(lú)升降式箱式電(diàn)動加熱爐(lú)功率微電子封裝除承擔熱耗散外,還(hái)必須具有與芯(xīn)片的材質(Si、GaAs)相(xiàng)匹配(pèi)的(de)線脹係數以及強度高、結構質量輕、工藝性好、成本低等特點。
高溫電爐升降式箱式電動加熱爐陶瓷基板由陶瓷基片(piàn)和(hé)布線金屬層兩部(bù)分(fèn)組成,金屬布線是通過在(zài)陶瓷基(jī)片上濺射、蒸發沉積或印刷各種金屬材料來製備(bèi)薄膜和厚(hòu)膜電路。常用的陶瓷基片材(cái)料有氧化鋁、氮化鋁、氮化矽、氧(yǎng)化鈹等等,製備陶瓷基板的方法(fǎ)有很多種,根據封裝結構和應用要求,陶瓷基板可分為平麵陶瓷基板和多層陶瓷基板兩大類,按照工藝分為DPC、DBC、AMB、TPC、TFC、LTCC、HTCC等(děng)。
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